茂原工場J1ライン見学
3月21日14時〜17時半、IR主催による茂原工場J1ライン見学会が催された。希望者多数で、21日と28日の2回に分けられて実施した。G6クラスの工場のクリーンルームツアーは例がなく、感謝したい。
最初に、巨大なJ1ライン周囲をバスで一回り、その大きさを実感、次いで、建屋のオフィスで、石川工場も歴任した矢内工場長による工場概要プレゼン30分強。その後、二班に分かれ、第二製造部部長の橋本、伊藤両氏が、1時間半におよぶクリーンルーム見学引率説明。戻ってビデオ視聴と質疑。
巨大なG6工場
JDIの拠点は、茂原、石川サイト、東浦、鳥取だが、LTPSの工場キャパは、茂原J1がG6で50k、石川G5.5が26k、今後立ち上がる白山が25kである。茂原はCMOS-LTPSであり、ピクセルアイズ、ホワイトマジック対応可能。J1は床面積20万㎡、CRは3層だが、面積は合計10万㎡である。
地震や停電対応は万全であり、２回線、震度7も耐えられる。BCP対策も強力。
国内のG6ラインは、シャープ亀山第一があるが、320m×140m、CR1層に対し、J1は330m×155mであり、一回り大きい。亀山と茂原の比較を示すが、亀山第一には、全長150m規模、幅20m以上とされるトッキ製のG6H横型蒸着機を入れるのは厳しそうだったが、茂原には、十分に入りそうだ。縦型なら、十分に入り、高さからも問題ないだろう。
半導体に近いライン
CRは3層で、CR1はセル工程、CR2とCR3がLTPS工程である。これまでの多くの液晶工場はアモルファスだが、LTPSゆえに、必須なイオンインプラ、ELA(エキシマレーザーアニール)があり、全体的に、成膜装置が多い。300mmウェハーも大きいが、G6の巨大なガラス基板の比ではなく、クリーンボックスも巨大であり、天井をレールで走行するのは圧巻。その意味では、工場見学の印象も、かつての亀山や堺(ただ、アモルファス)と比べても、富士通三重半導体工場に近い印象だ。
ジョブショップ方式を採用だが、ジョブフロー方式に比べ、LTは不利だが、装置の数を減らせ、装置の稼働率を上げられるプラスもあり、半導体工場では、主流となっている。
工場見学は3Fと1FでOLED試作ラインはなし
工場見学では、CR3の後、CR1の半分を見学。OLED立ち上げ中と思われるCR2や、CR1の半分はなし。白山の立上げも、このJ1を参考にするようだ。
CR3のラインツアー
見学は、露光エリアから、ウェット、成膜のPVDスパッタ、ドライエッチ、CVD、ELAという順に見学。とにかく、装置の大きさが大きく、搬送やストッカーが大きく占める。
露光では、
成膜では、
CR1のラインツアー
巨大な倉庫、ロボットで、G6ガラスを搬入検査、洗浄し、この後は、クリーンボックスに入り、ロット番号がつき、3CRに送られる。
セル前工程では、
セル後工程では、