先週、JSRが、JIC傘下になることが決まったようだ。正直、ニュースを見て、驚いたが、何となく腑に落ちた。
半導体では、JSRはレジストでトップ、ドライ系のラムリサーチと異なり、ウェット系で、TELなど装置メーカーと、強いサプライチェーンを築いており、特に、EUVでは鍵であり、IMECにとっても重要である。2019年には、565億円を投じ、米国ベンチャーのInpria社(2007年設立以来、EUV用メタルレジストの開発に取り組み、スズ酸化物を主成分とした材料はEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成)。半導体製造のエコシステム上、更に重要性を増した。