EUV装置のキーワードは「250」～250ケースに分け250人が250日かけ組立

ビオンド2nmで必須となるEUV導入の課題が明らかになってきた。今後、国内にも、ラピダスや広島マイクロンに導入されるが、配慮が必要だ。

装置の価格が1台当たり、5nmプロセスで約150億円、3nmプロセスで約200億円、2nmプロセスに至っては、価格は約500億円以上(TWINSCAN EXE:5000で380mil$)であるが、装置は250ケースに分けて輸送され、250人のエンジニアが、6カ月(土日を考えると250日)かけて組み立てるという。