半導体政策のEBPM的効果の検証には、産業連関表を使った報告が多い。EY「先端半導体の生産施設整備施策の効果検証等に関する委託調査事業」（2023年）はEBPM重視、産業連関分析やCGEモデルを使い、半導体メーカーへの支援などをシナリオ別に分析、2022～2034年のGDP影響を3.1～4.2兆円、雇用は延べ12.4～46.3万人としているが、シリコンサイクルの影響などが不明である。また乗数効果は明示されず、同じ支援を他産業にした場合の比較がない。DBJと価値総合研による「九州における半導体産業とその未来」(2023年)［5］は、熊本県を中心に九州全域も含め半導体産業を取引構造からグループを分け、TSMC進出前後の変化や雇用動向についても分析、有益な結果が多い。
しかしながら、産業連関分析では半導体製造装置は業務用機械に分類され、中間投入ではなく(産業連関表では中間投入0%である(下記の表で薄いピンク）、