ラピダス後工程に期待～TSMCにない新たなビジネスモデル

かねてから、NEDOプロジェクトにも採用されていたが、後工程の研究ラインが千歳で着工が始まり、具体化する。ラピダス､｢後工程｣研究ライン着工　電力消費10分の1狙う - 日本経済新聞 (nikkei.com)

セイコーエプソンの液晶ラインを使い、9000㎡クリーンルームを設け、25年4月から装置搬入を始め、26年4月に稼働するため、前工程より早い。