近年、政策の正しさをきちんと評価検定しようということで、EBPMが注目され、半導体政策でも、EBPMでTSMC誘致効果を検証されている。検証レベルは低い順に、4から1aまである。1aは系統的レビュー、ランダム化比較実験(RCT)のメタアナリシス、1bはRCT、2が回帰分析等、3が比較検証や相関研究、記述的な研究調査、4が専門家意見や有識者会合のパブリックコメントとなっている。
EBPMで最近よく使われているのが産業連関表である。半導体政策でもEBPM的効果の検証に、産業連関表を使った報告が多い。